碳化硅衬底切割:科技之刃,产业之翼(下)

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碳化硅衬底激光切割是利用高能激光束照射在材料上,使局部迅速加热熔化,形成孔洞或缝隙,随着光束的移动,孔洞或缝隙连续形成,完成切割或打孔的任务。
SiC
 
激光切割可以实现高精度的切割,切口宽度窄,切割断面光滑。激光切割的切割速度非常快,可以大幅提高生产效率。激光切割可以适应各种材料的切割,包括金属、非金属、复合材料等。激光切割可以实现自动化操作,减少人工干预,提高生产的一致性。
 
激光切割设备成本较高,投资较大。激光切割过程中会产生强光和高温,对操作人员的安全防护要求较高,需要专业人员进行操作。激光切割的质量受到多种因素的影响,如激光功率、切割速度、材料性质等。激光切割过程中需要保持环境的清洁度,防止灰尘、烟雾等杂质对切割质量的影响。
 
在碳化硅衬底的激光切割中,由于碳化硅硬度大、熔点高,切割难度较大,因此需要采用高功率的激光器,同时对切割工艺和参数的选择也更加严格。
 
对于不同材料的切割,需要调整的参数主要包括切割深度、切割角度、送料速度和锯片转速等。切割深度指锯片切入材料的深度。通常情况下,切割深度应该略小于材料厚度的一半,以保证切割效果和安全性。
 
切割角度指锯片与材料表面的夹角。圆锯机通常可以设置切割角度,以满足不同的切割需求。送料速度指材料在锯片上运动的速度。过快的送料速度会导致切割质量下降,过慢的送料速度则会浪费时间。锯片转速指锯片每分钟旋转的圈数。不同的材料需要不同的锯片转速,以保证切割效果和锯片寿命。
 
此外,对于线切割,还需要注意放电电流、电极与工件间隙等参数。放电电流的大小直接影响到切割速度和表面质量,需要适当调整。同时,确保适当的电极与工件间隙也是成功切割的关键。
 
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