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[分享] 金刚石像碳化硅吗?

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发表于 2020-4-27 11:09:47 | 显示全部楼层 |阅读模式
金刚石具有比碳化硅更大的禁带宽度、更大的热导率、更高的硬度、更高的电子迁移率,有人称是终极半导体材料。
微信图片_20200427110735.png

2013年,日本国家先进工业科技研究所、国立材料研究所制备了金刚石基的10kV真空电力开关;
2015年,美国雷神公司制备了金刚石基GaN HEMT;
2014年,日本产业技术综合研究所制备金刚石基250℃ 10kV 5A SBD;
2016年,俄罗斯制备金刚石存储的量子计算机;
2020年,美国佐治亚理工学院、日本明星大学、早稻田大学提出表面激活键合技术(Surface activate bonding),提高金刚石与其他材料的键合。

实际上,根据材料这个词的定义,用实用的物质才是材料。金刚石的这些高强碳碳键的特性,也给他带来了生长的困难。毕竟生长单晶需要先破坏化学键,再形成化学键。

相图如下:
微信图片_20200427110739.png

研究的历史如下:
1870年以前,人们就开始开采天然金刚石了;
但是,直到1954年,美国通用电气运用高温高压法(HPHT)合成人造金刚石;
1963年,国内开始合成人造金刚石;
1963年,苏联运用爆炸法合成金刚石,该方法现在国内用来生产90%的金刚石;
1970年,美国通用电气运用高温高压法合成克拉级金刚石(1克拉Ct=0.2g);
1985年,日本住友合成克拉级金刚石;
1996年,美国阿波罗金刚石公司提出CVD法合成金刚石;
1998年,美国卡内基地质物理实验室使用CVD法合成金刚石;
2002年,元素六公司使用CVD法生产金刚石;
2014年,俄罗斯NDT公司运用HPHT生产34Ct的Ⅱa型金刚石;
2015年,国内济南金刚石公司(合作乌克兰国家科学院超硬材料研究所)、中南钻石运用HPHT法生产10Ct的Ⅰb、Ⅱa、Ⅱb型金刚石,尺寸大于10mm*10mm;
近几年,国内上海征世、杭州超然、宁波晶钻运用CVD法,在HPHT法生产的晶片上外延10mm*10mm的Ⅰb、Ⅱa、Ⅱb型金刚石晶片。

基本的生长方法还是高温高压法(HPHT),运用六面顶压机提供高达6.7GPa、1500℃,石墨溶解于金属催化剂中,而后降温析出金刚石单晶。
微信图片_20200427110743.png
有点像PVT法生长碳化硅的过程,只是容器充满的熔体,是液态的。更像是液相法生长碳化硅,只是要高压。关键的技术要点集中于:压力、温度、温度梯度、观测与调控、定向、切割。比如单单切割,运用激光能耗太大。
微信图片_20200427110747.png
产品如下:
微信图片_20200427110751.png

在这基础上,可以使用CVD法生长金刚石。氢气和甲烷被微波加热成等离子体,之后在催化剂的作用下沉积成金刚石。
微信图片_20200427110754.png
产品如下:
微信图片_20200427110758.png
其中从设备到工艺、杂质、剥离等技术都需要进一步的探索。

金刚石的尺寸,比碳化硅还差得远了。
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